主要型号:
型号 | 功率 (kW) | 最大工作 电流(A) | 外形 尺寸 | 冷却 方式 | 空载电压 (V) | 工作电压 (V) |
MSD-10k | 10 | 12.5 | 1单元 |
风冷 480*243*565 (WHD) |
1000 |
150~800V |
MSD-20k | 20 | 25 | 1单元 | |||
MSD-30k | 30 | 37.5 | 2单元 | |||
MSD-40k | 40 | 50 | 2单元 | |||
MSD-20k | 20 | 25 | 1单元 |
风水冷 480*280*580 (WHD) |
1000 |
150~800V |
MSD-30k | 30 | 37.5 | 1单元 | |||
MSD-40k | 40 | 50 | 1单元 | |||
MSD-60k | 60 | 75 | 2单元 | |||
MSD-80k | 80 | 100 | 2单元 | |||
MSD-100k | 100 | 125 | 3单元 | |||
MSD-120k | 120 | 150 | 3单元 |
主要特点:
A 采用先进的电流型开关电源技术,减小输出储能元件,
同时提高了抑制打火及重启速度,应用在铝靶镀膜优势更为明显。
B 具备恒流/恒功率模式可选。恒功率模式相对于传统的恒流模式,
更能保证镀膜工艺的重复性。
C 具有理想的电压陡降特性,自动识别伪打火现象,
充分满足磁控溅射工艺过程的连续性。
D 主要参数可大范围调节
E 可选择手动控制/模拟量接口控制,可选配RS485通讯接口。
F 采用进口大功率IGBT&MOS模块
采用先进的PWM脉宽调制技术,使用进口IGBT或MOSFET作为功率开关器件,
体积小、重量轻、功能全、性能稳定可靠,生产工艺严格完善。
该系列产品采用先进的DSP控制系统,充分保证镀膜工艺的重复性,
并且具有抑制靶材弧光放电及抗短路功能,
具有极佳的负载匹配能力,既保证了靶面清洗工艺的稳定性,又提高了靶面清洗速度;
主要参数均可大范围连续调节;
方便维护,可靠性高;
PLC接口和RS485接口扩展功能,方便实现自动化控制。
主要用途:
直流磁控溅射用于镀制各种金属