BP系列脉冲偏压电源

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主要型号


型号

功率

(kW)

工作

电压(V

最大峰值

电流(A

外形

尺寸

冷却

方式

BP-10k

10

0-500

20

1单元

风冷

200-1000

10

BP-20k

20

0-500

40

200-1000

20

BP-30k

30

0-500

60

200-1000

30

BP-20k

20

0-500

40

1单元

风水冷

200-1000

20

BP-30k

30

0-500

60

200-1000

30

BP-40k

40

0-500

80

200-1000

40

BP-50k

50

0-500

100

200-1000

50


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主要特点:
   A具有行动稳定电压功能,具有理想的电压陡降特性,有效抑制工件表面打火,
明显提高镀件的成品率、表面光洁度和膜层结合力。
   B 通过适当调节占空比,可改善和控制成膜速度和温度,
增加膜层结合力,提高沉积率。
   C 分高压档/低压档两档,高压档适用于辉光清洗和离子轰击,
低压档适用于镀膜时的离子加速。
   D 频率40kHz,占空比20%~80%。
   E 可选择手动控制/模拟量接口控制,可选配RS485通讯接口。
采用先进的PWM脉宽调制技术,使用进口IGBT或MOSFET作为功率开关器件,
体积小、重量轻、功能全、性能稳定可靠,生产工艺严格完善。
该系列产品采用先进的DSP控制系统,充分保证镀膜工艺的重复性,并且具有抑制靶材弧光放电及抗短路功能。
具有极佳的负载匹配能力,既保证了靶面清洗工艺的稳定性,又提高了靶面清洗速度;主要参数均可大范围连续调节;
方便维护,可靠性高;
PLC接口和RS485接口扩展功能,方便实现自动化控制。


主要用途:

BP系列脉冲电源主要用于多弧离子镀膜、磁过滤电弧离子镀膜、直流磁控溅射镀膜、孪生中频磁控溅射镀膜及等离子体增强化学气相沉积等。主要作用包括:被镀工件表面的辉光清洗、镀膜前的离子轰击和镀膜时的离子加速等。