主要型号
型号 | 功率 (kW) | 工作 电压(V) | 最大峰值 电流(A) | 外形 尺寸 | 冷却 方式 |
BP-10k | 10 | 0-500 | 20 |
1单元
|
风冷 |
200-1000 | 10 | ||||
BP-20k | 20 | 0-500 | 40 | ||
200-1000 | 20 | ||||
BP-30k | 30 | 0-500 | 60 | ||
200-1000 | 30 | ||||
BP-20k | 20 | 0-500 | 40 |
1单元 |
风水冷 |
200-1000 | 20 | ||||
BP-30k |
30 | 0-500 | 60 | ||
200-1000 | 30 | ||||
BP-40k | 40 | 0-500 | 80 | ||
200-1000 | 40 | ||||
BP-50k | 50 | 0-500 | 100 | ||
200-1000 | 50 |
主要特点:
A具有行动稳定电压功能,具有理想的电压陡降特性,有效抑制工件表面打火,
明显提高镀件的成品率、表面光洁度和膜层结合力。
B 通过适当调节占空比,可改善和控制成膜速度和温度,
增加膜层结合力,提高沉积率。
C 分高压档/低压档两档,高压档适用于辉光清洗和离子轰击,
低压档适用于镀膜时的离子加速。
D 频率40kHz,占空比20%~80%。
E 可选择手动控制/模拟量接口控制,可选配RS485通讯接口。
采用先进的PWM脉宽调制技术,使用进口IGBT或MOSFET作为功率开关器件,
体积小、重量轻、功能全、性能稳定可靠,生产工艺严格完善。
该系列产品采用先进的DSP控制系统,充分保证镀膜工艺的重复性,并且具有抑制靶材弧光放电及抗短路功能。
具有极佳的负载匹配能力,既保证了靶面清洗工艺的稳定性,又提高了靶面清洗速度;主要参数均可大范围连续调节;
方便维护,可靠性高;
PLC接口和RS485接口扩展功能,方便实现自动化控制。
主要用途:
BP系列脉冲电源主要用于多弧离子镀膜、磁过滤电弧离子镀膜、直流磁控溅射镀膜、孪生中频磁控溅射镀膜及等离子体增强化学气相沉积等。主要作用包括:被镀工件表面的辉光清洗、镀膜前的离子轰击和镀膜时的离子加速等。