品牌 | 中山市昊源电器设备有限公司 |
型号 | BD系列直流偏压电源 |
厢数 | 三厢+N |
输入电压 | 380V |
频率 | 50HZ |
输入方式 | 4线(含零线) |
输出波形 | 脉冲 |
功率 | 10KW—100KW(可定制) |
电压 | 0—1200V(可定制) |
电流 | 0—100A(可定制) |
稳定度 | ≤1% |
纹波及杂讯 | ≤2% |
功率 | ≥90% |
控制方式 | 恒压 高低压切换 |
控制接口 | 可选方式:面板手动、PLC模拟接口、RS485(Modbus) |
保护 | 具备缺相、过热、限压、过压、过流、短路、超载等保护功能 |
冷却 | 风冷或水冷 |
防护等级 | IP21 |
外形单元尺寸 (W*D*H) | 箱体:440(W)X260(H)X580(D) (20KW风冷) 面板:482(W)X280(H) |
工作电压可分A或B两档,每一档内的电压连续可调、自动稳压,稳压精度1%F.S
A档:100V—1000V
B档:50V—500V
偏压电源主要用于多弧离子镀膜、
磁过滤电弧离子镀膜、直流磁控溅射镀膜、
非平衡磁控溅射镀膜和孪生靶中频磁控溅射镀膜、
等离子体增强化学气相沉积(PECVD)等。
主要作用包括:被镀工件表面的辉光放电清洗、
镀膜前的离子轰击、镀膜时的离子加速等。
合理选用偏压电源可以有效地抑制工件表面打火,
明显提高镀件的成品率、表面光洁度和膜基结合力。