磁控溅射电源的冷却方式是我们在使用电源过程中比较关注的问题，涉及到我们电源使用稳定等各个方面，在这一方面有比较好的独到的处理方式，常规是采用风冷加水冷模式，小功率采用风冷模式，还可以根据客户需求量身制定。我司采用的冷却水模式的原理以及注意事项请知悉，使电源的使用过程更加平稳和谐。

1、风冷：引入相当于室温的空气（最高40度）。 把输入空气分配到各个电源。 防止空气在每个电源外重复循环。 排出的空气不得再返回循环并防止成为输入空气

2、冷却水管应牢固连接，避免漏水，损坏电源。 冷却水进水温度20℃，冷却水水压1.5 – 3.0Kg/cm2 冷却用水应使用软化水，防止结垢。工作过程中，必须保证冷却水畅通。 当电源不工作时，应停止冷却水循环，以避免电源内部结露。